Алгоритм идентификации объектов топологии микросхем на микроскопных изображениях слоев топологии СБИС изображения или в процессе
фотолитографии.
Автоматический контроль качества позволит в кратчайшие сроки
Обнаружительная способность для автоматического контроля топологии контроля
топологии, основанная на вероятностной оценке линейных размеров дефектов СБИС и других
Автоматический контроль микродефектов на полупроводниковых пластинахАвтоматический контроль микродефектов на полупроводниковых пластинах