Ионно-оптическая система мультипольного многоапертурного ионно- лучевого источника для нанопокрытийИонно-оптическая система мультипольного многоапертурного
ионно- лучевого источника для нанопокрытий
Плазменное напыление цветных металловПлазменное напыление цветных металлов