Анализ технологии плазменной обработки полупроводниковых структурПроведен анализ разновидностей сухого травления, в частности такого вида сухого травления как
ионно МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ИМПУЛЬСНОЙ ЭЛЕКТРОННО-ИОННО-ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ АЛЮМИНИЯМОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ИМПУЛЬСНОЙ ЭЛЕКТРОННО-
ИОННО-ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ АЛЮМИНИЯ