МЭМС-сенсор давления с диафрагмой из монокристаллического кремнияМЭМС-
сенсор давления с диафрагмой из монокристаллического кремния
Электромиографический сенсор и его применение в области протезирования конечностейЭлектромиографический
сенсор и его применение в области протезирования конечностей
Автономный многоканальный спектральный сенсор для БПЛААвтономный многоканальный спектральный
сенсор для БПЛА
Мультиканальный спектральный сенсор МКСС-1Мультиканальный спектральный
сенсор МКСС-1
Полупроводниковый газовый сенсорПолупроводниковый газовый
сенсор, содержащий кремниевую подложку с выполненной на ней мембраной на