Автоматический контроль климата в холодильной камереАвтоматический контроль климата в холодильной камере
Комплекс для неразрушающего контроля субмикронной топологии кремниевых пластин при производстве интегральных микросхемЧижик, С. А.,
Басалаев, С. П.,
Пилипенко, В. А.,
Худолей, А. Л.,
Кузнецова, Т. А.,
Чикунов, В. В.,
Суслов, А. А. Комплекс для неразрушающего контроля субмикронной
топологии кремниевых пластин при производстве
Автоматический контроль температуры токоведущих частей электрооборудованияАвтоматический контроль температуры токоведущих частей электрооборудования
Система перемещений установки автоматического контроля оригиналов топологии оригиналов
топологии, используемая для достижения при сканировании точного совмещения координатной системы