Низкотемпературная плазма магнетронного разрядаНевлюдов, И. Ш.,
Гурин, Д. В.,
Гурин, В. Н.,
Хрусталев, К. Л.,
Nevliudov, I. Sh.,
Gurin, D. V.,
Gurin, V. N.,
Khrustalev, K. L. В статье исследуется
низкотемпературная плазма магнетронного разряда устройства
Многомодовый режим генерации плазмы СВЧ-разряда в открытой магнитной ловушке сильно
неравновесная анизотропная
низкотемпературная плазма. Показано, что структура электромагнитного