Нанесение пленок цирконата-титаната свинца методом ВЧ магнетронного распыленияНанесение пленок цирконата-титаната свинца методом
ВЧ магнетронного распыления
Структурные изменения в тонких кальций-фосфатных пленках на титане при термической обработке, полученных методом
ВЧ-магнетронного распыления, в процессе термического отжига методом in situ рентгеновской
Сегнетоэлектрические свойства пленок танталата стронция-висмута, нанесенных методом ВЧ магнетронного распыленияГолосов, Д. А.,
Мельников, С. Н.,
Завадский, С. М.,
Колос, В. В.,
Поплевка, Е. А.,
Окоджи, Д. Э.,
Жукович, Ю. А. ), нанесенных методом
ВЧ магнетронного распыления на Pt/TiOx/SiO2/Si подложки. Установлены зависимости