Источник питания для получения низкотемпературных плазменных струй, функционирующего в составе
системы для получения низкотемпературных плазменных струй на основе слаботочного
Генерация аэроионов плазменным факелом аргона при атмосферном давлении распределение концентрации, в различных положениях
относительно
системы генерации, отрицательных и
Разработка конструкции кварцевого датчика и системы перемещенияДля регистрации скорости нанесения при
ионно-лучевом и
ионно-плазменном распылении был разработан