Тонкопленочные неорганические наносистемыТонкопленочные неорганические наносистемы
Тонкопленочные материалы для многослойных оптических покрытийТонкопленочные материалы для многослойных оптических покрытий
Растворные пленочные технологии. Современные технологии микро- и наноэлектроникиРассмотрены наноразмерные
тонкопленочные структуры и методы получения тонких пленок. обобщены