Исследование влияния плазменной и активной нагрузки на форму импульса анодного тока магнетрона нагрузкой являлась низкотемпературная
неравновесная плазма самостоятельного СВЧ-разряда с находящимися
Оперативный анализ загрязнений кремниевых пластин рекомбинационно-активными примесями в производстве интегральных микросхемСолодуха, В. А.,
Шведов, С. В.,
Чигирь, Г. Г.,
Петлицкий, А. Н.,
Пилипенко, В. А.,
Ковальчук, Н. С.,
Петлицкая, Т. В.,
Филипеня, В. А.,
Солодуха, В. А. Предложен доступный, оперативный анализ наличия загрязнений кремниевых пластин
рекомбинационно Методика проведения спектральных исследований на установке «Плазма - 600Т»Подготовлены описание и последовательность работы с установкой «
Плазма-600Т». Изучены режимы ее
Лазерно-индуцированная плазма в жидкости и ее роль в формировании наноразмерных частицЛазерно-индуцированная
плазма в жидкости и ее роль в формировании наноразмерных частиц
Влияние плазма активированной воды на корнеобразование яровой пшеницыВлияние
плазма активированной воды на корнеобразование яровой пшеницы