Полупроводниковый газовый сенсор с нагревателем из монокристаллического кремнияПолупроводниковый газовый сенсор с нагревателем из монокристаллического кремния
Полупроводниковый газовый сенсорПолупроводниковый газовый сенсор, содержащий кремниевую подложку с выполненной на ней мембраной на
Полупроводниковый газовый сенсор с нагревателем из монокристаллического кремнияПолупроводниковый газовый сенсор с нагревателем из монокристаллического кремния
Полупроводниковый газовый сенсор с нагревателем из оксидов металловПолупроводниковый газовый сенсор с нагревателем из оксидов металлов
Газовый сенсор с низким энергопотреблением на наноструктурированной диэлектрической мембранеИсследован
газовый сенсор с низким энергопотреблением на двухслойной диэлектрической мембране с
Газовый сенсор с низким энергопотреблением на наноструктурированной диэлектрической мембранеГорох, Г. Г.,
Захлебаева, А. И.,
Ткач, А. Н.,
Реутская, О. Г.,
Хатько, В. В.,
Таратын, И. А. Газовый сенсор с низким энергопотреблением на наноструктурированной диэлектрической мембране