Композиционные покрытия полиметилметакрилата с наночастицами диоксида кремния для емкостных датчиков контроля содержания никеля в водеСапсалёв, Д. В.,
Мельникова, Г. Б.,
Аксючиц, А. В.,
Толстая, Т. Н.,
Котов, Д. А.,
Чижик, С. А. наноструктурированных пленок на основе полиметилметакрилата. На основании экспериментальных данных зависимости емкостных
Формирование пленок SIOC реактивным ионно-лучевым распылением из диоксида
кремния. Плёнки формировались на подложках из
кремния. Температура подложки не
Формирование функциональных слоев нитрида кремния селективным плазмохимическим травлением травления
пленок нитрида
кремния при обработке в плазме газовой
смеси, состоящей и фторсодержащего газа и
Микро- и нанотехнологииВ учебно-методическом пособии рассмотрены методы получения
наноструктурированных оксидных и
Влияние УФ-излучения на оптические свойств оксида цинка
наноструктурированных пленок оксида цинка, сформированных на подложках монокристаллического
кремния методом