Выявление дефектов интегральной микросхемы (ИМС) посредством ионно-лучевого травленияВыявление дефектов интегральной
микросхемы (ИМС) посредством ионно-лучевого травления
Полупроводниковые приборы и интегральные микросхемы : учебное пособие интегральные микросхемы». Рассматриваются основы физики полупроводников, принципы действия и особенности