Стехиометрия пленок диоксида кремния, полученных ионно-лучевым распылениемС применением инфракрасной спектрометрии исследован состав SiOх–пленок, полученных
ионно Формирование пленок CNх реактивным ионно-лучевым распылениемИсследованы процессы формирования пленок нитрида углерода реактивным
ионно-лучевым распылением