Фотолитография на пленочных структурах ксерогель/пористый анодный оксид алюминия, сформированных в различных электролитахХорошко, Л. С.,
Ашариф, А. М.,
Ореховская, Т. И.,
Меледина, М. В.,
Сокол, В. А.,
Колосницын, Б. С.,
Гапоненко, Н. В. Фотолитография на пленочных структурах ксерогель/пористый анодный оксид алюминия, сформированных в
Фотолитография: от истоков процесса до будущих открытий в области полупроводниковой промышленностиФотолитография: от истоков процесса до будущих открытий в области полупроводниковой промышленности